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隨著半導體晶圓檢測對于焦深要求愈來愈高，瑞邦精控著力開發(fā)精密運動臺。

精密Z軸主要特點：

1、重載大行程，可承載50Kg，行程50mm。

2、重復定位精度0.2μm。

3、高剛性，高動態(tài)特性、系統(tǒng)帶寬大于100Hz。

4、直驅(qū)力矩電機驅(qū)動、滾珠絲杠和交叉滾柱導軌帶來高導向精度和剛性，精密交叉滾柱導軌導向、可選雙編碼器（旋轉(zhuǎn)編碼器和直線光柵尺）做全閉環(huán)控制，可選配全密封防護。

5、相對側(cè)掛Z軸，平升位移臺能夠直接使負載平面升降，結(jié)構更緊湊。

 

為保證精密運動臺穩(wěn)定性和高精度要求，北京瑞邦精控在以下幾方面做嚴格要求。

材料加工：綜合國內(nèi)外對不同材料的加工工藝，嚴格把控機加工質(zhì)量，對熱處理和表面處理都有量化指標要求，為了保證運動臺在長期運行穩(wěn)定性。

裝配工藝：氣浮運動臺和線軌運動臺都有完整的裝配工藝手冊，模塊化操作，分步驗收，設計人員全稱參與裝配過程，嚴格把關。

電氣調(diào)試：三審電氣圖紙，嚴格把控焊線工藝，工程師從原理上理解控制器的功能和應用，把機械系統(tǒng)和控制系統(tǒng)綜合分析，精度調(diào)試。

檢測驗收 : 運動臺所有的指標驗收都是按照國家規(guī)定的驗收標準執(zhí)行，數(shù)據(jù)報告的出具都是真實的檢測數(shù)據(jù)。最終的現(xiàn)場驗收，也是實際檢測為準。

服務：依據(jù)客戶現(xiàn)場實際需求，積極配合客戶對機械結(jié)構進行設計并優(yōu)化處理；依據(jù)技術協(xié)議現(xiàn)場進行技術指標驗收；現(xiàn)場進行設備培訓及設備維護講解。