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氣浮平臺的精度是精密機械的核心。我公司為微光微刻技術(shù)、CNC加工、生物技術(shù)、IC封裝設(shè)備、納米表面形貌測量等領(lǐng)域提供了一種能實現(xiàn)精確定位和精確移動的運動平臺。

氣浮平臺是光刻機貼片機等電子制造設(shè)備的主要工作機構(gòu)。伴隨著電子產(chǎn)品的生產(chǎn)，產(chǎn)品的體積越來越小，對精度的要求越來越高。所以，高精度、高穩(wěn)定性的移動平臺對于電子設(shè)備的發(fā)展有著舉足輕重的作用。另外，微電子系統(tǒng)制造和測試、光學測量加工、超精密加工、航空發(fā)動機測量制造等領(lǐng)域都離不開精密定位技術(shù)。因為空氣軸承精度比滾動軸承高兩個數(shù)量級，且精度高，摩擦系數(shù)小，工作環(huán)境極限，采用氣浮臺方案是精密運動平臺設(shè)計的理想選擇。

氣浮平臺分為氣浮直線平臺與氣浮轉(zhuǎn)臺，由氣浮導軌或氣浮軸承導向，直驅(qū)電機驅(qū)動及光柵尺閉環(huán)反饋組成氣浮平臺。直驅(qū)運動不存在中間傳動環(huán)節(jié)，提高平臺的整體精度，運行速度平穩(wěn)。負載慣量和系統(tǒng)帶寬相對較大，有良好的動態(tài)特性。

基于空氣軸承的基本原理，實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動。它具有運動精度高、清潔無污染等特點。同時還具有誤差均化作用，來獲得較高的導向精度。氣浮導軌在測量設(shè)備、精密機械中得到了廣泛的應用。氣浮平臺在氣體潤滑的表現(xiàn)上看，承載能力、氣體流量均有超常規(guī)表現(xiàn)，特別是最關(guān)鍵的性能指標位移精度上，相對于傳統(tǒng)導軌有著成數(shù)量級的明顯優(yōu)勢，精密機械、測量儀器等領(lǐng)域使用氣浮導軌是行業(yè)發(fā)展的必然趨勢。