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氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是超精密機(jī)械中的一種新型結(jié)構(gòu)，從誕生之日起就一直受到世人的關(guān)注，它為微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生物技術(shù)、納米表面形貌測(cè)量、高精密機(jī)床研發(fā)等領(lǐng)域提供一個(gè)能夠?qū)崿F(xiàn)超精密定位、檢測(cè)和運(yùn)動(dòng)的載物平臺(tái)，為開展超精密加工工藝技術(shù)研究拓展了領(lǐng)域，能解決高精度零件在加工、檢測(cè)等方面的難題。利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導(dǎo)入實(shí)現(xiàn)的，它使轉(zhuǎn)軸懸浮在空氣中并能平穩(wěn)旋轉(zhuǎn)，使轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮，通過軸承腔引入空氣壓力，使轉(zhuǎn)軸保持懸浮狀態(tài)，從而獲得較高的軸向跳動(dòng)誤差。

北京瑞邦精控科技有限公司擁有多年的精密機(jī)械加工及裝配經(jīng)驗(yàn)，采用合理參數(shù)及合理的精度分配完成了前期的設(shè)計(jì)工作，制造出多規(guī)格的氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，掌握了氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)從設(shè)計(jì)到制造的全套技術(shù)?？伤交蚺P式安裝，解決了氣浮抱死的問題，軸向跳動(dòng)誤差10nm，徑向跳動(dòng)誤差100nm，定位精度可做到1角秒內(nèi)，手動(dòng)旋轉(zhuǎn)和電動(dòng)旋轉(zhuǎn)跳動(dòng)誤差一致，閉式氣浮結(jié)構(gòu)，高速度穩(wěn)定性。

 對(duì)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)的高壓氣體的流動(dòng)規(guī)律、壓力分布、轉(zhuǎn)臺(tái)精度分離方法等進(jìn)行了充分掌握。制造出小孔節(jié)流型氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，其影響因素：高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器直徑、節(jié)流器數(shù)量、均壓槽深度等，找到了合理氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間，取得了關(guān)鍵技術(shù)突破，使用壽命10年以上，為高精度零件的加工與檢測(cè)、超精密加工工具的研制奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。