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高精度和高分辨率的氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)系統(tǒng)在近代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為重要的地位。它直接影響精密、超精密切削加工水平、精密測(cè)量水平及超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平。它的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)是各國(guó)高技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。氣浮平臺(tái)系統(tǒng)的定位精度和行程范圍直接影響到生產(chǎn)加工的精度和加工能力。同時(shí)工作臺(tái)的速度、加速度及啟停過(guò)程的穩(wěn)定時(shí)間則影響到設(shè)備的效率，成為系統(tǒng)的重要指標(biāo)。

由于氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的定位精度和分辨率多在亞微米級(jí)，工作環(huán)境的影響不容忽視。溫度的變化直接影響平臺(tái)的定位精度，外部振動(dòng)會(huì)影響系統(tǒng)的穩(wěn)定性，環(huán)境溫度與濕度的變化會(huì)影響傳感器的精度。因此精密及超精密氣浮平臺(tái)的工作環(huán)境要求高，對(duì)溫度及濕度的變化一般控制到20 ± 0.1℃和濕度50%±5%以內(nèi)，更高精度的平臺(tái)則要求控制到溫度變化20 ± 0.1℃以內(nèi)。而恒溫車間的建造價(jià)格高，為達(dá)到極小的溫度變化，多采用多級(jí)恒溫車間嵌套的措施，更加增加了建設(shè)成本，同時(shí)空調(diào)等設(shè)備的運(yùn)行費(fèi)用也不可忽視。

這些因素使得精密及超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在正常的工業(yè)環(huán)境中應(yīng)用受到了很大的制約。因此有必要提出一種新的設(shè)計(jì)觀念，從一開(kāi)始就綜合考慮車間工作環(huán)境 建造成本、運(yùn)行費(fèi)用、使用要求、工作臺(tái)技術(shù)指標(biāo)、制造成本等技術(shù)經(jīng)濟(jì)因素， 通過(guò)新材料和新的控制技術(shù)在精密及超精密氣浮平臺(tái)中的應(yīng)用，降低氣浮平臺(tái)對(duì)使用環(huán)境的要求和整個(gè)生命周期的研制使用費(fèi)用，提高精密及超精密氣浮平臺(tái)的綜合性能。這對(duì)精密及超精密平臺(tái)的推廣應(yīng)用，提高我國(guó)的制造業(yè)水平有著重要的意義。