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三軸氣浮運動臺

產品型號：QFL3D系列

產品應用

廣泛應用于精密加工，測試測量，掃描、半導體及光子學對準等行業(yè)。

產品圖片

產品特點

• 非接觸式氣浮導軌結構

• 重復定位精度±75nm

• 結構緊湊精度高

• 根據(jù)需求可定制

• 優(yōu)化后的線纜管理系統(tǒng)。

結構優(yōu)勢

QFL3D系列是一款非接觸式三軸氣浮運動臺，氣浮非接觸式結構已經(jīng)證明是精密應用中的理想選擇，適用于微納制造，測試測量和光子學對準等應用，具有體積小，精度高和外觀緊湊等特點，無論是微動步距，還是速度穩(wěn)定性的要求，QFL3D都證明是終的解決方案。采用直線電機驅動，具有零齒槽效應，高動態(tài)性能和電子噪音小等特點，高精度直線光柵反饋，搭配業(yè)界*的控制系統(tǒng)，組成三維運動系統(tǒng)，實現(xiàn)超精密定位。

定制化設計

根據(jù)用戶實際應用，可以選擇單軸，雙軸，三軸等多種結構，如單軸Z軸氣缸配重結構，雙軸T形曲面加工結構和三軸的行程大小等，都可以接受定制。為使阿貝誤差影響到小，可以定制化各軸，保證精度性能。

線纜管理

精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質量的偏平電纜，以確保*操作，減少故障停機時間。

潔凈室兼容性

氣浮導軌本質上與潔凈室環(huán)境兼容，高質量的無塵線纜管理系統(tǒng)也符合實驗室環(huán)境，所以成為實驗室內的理想選擇。

規(guī)格指標