王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳

產(chǎn)品型號

     QFR-NOTE系列

產(chǎn)品特點

• 閉式氣浮軸承結(jié)構(gòu)；

• 直驅(qū)零齒槽效應(yīng)；

• 高軸向和徑向剛度；

• 百納米跳動誤差；

• 低噪音結(jié)構(gòu)設(shè)計；

• 高速度穩(wěn)定性

產(chǎn)品圖片

行業(yè)應(yīng)用

     精密氣浮轉(zhuǎn)臺滿足生物檢測、晶圓檢測、高精度計量、X射線衍射系統(tǒng)、光學(xué)檢測和制造以及MEMS/納米技術(shù)設(shè)備制造等行業(yè)，在極低的外形封裝中提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級跳動。

產(chǎn)品性能

     精密氣浮轉(zhuǎn)臺進行優(yōu)化設(shè)計，使工作臺面降到低，這種設(shè)計結(jié)構(gòu)有效的降低了工作點的高度，大減少因與其他軸疊層引起的阿貝誤差。密封式結(jié)構(gòu)具有高剛度和大負(fù)載承重，不僅有較低的軸向和徑向端跳誤差，而且傾角誤差也比較小，由此產(chǎn)生的面誤差明顯優(yōu)于其它轉(zhuǎn)臺或氣浮主軸，實現(xiàn)超精密轉(zhuǎn)臺的應(yīng)用。

      采用無齒槽無刷電機和氣浮軸承，大限度的提高了定位性能。電機采用磁路設(shè)計，以小的熱量產(chǎn)生高扭矩輸出，無齒槽設(shè)計固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，非常適合在低速或高速下平滑快速旋轉(zhuǎn)等應(yīng)用。

     采用精密圓光柵反饋，控制器對光柵柵距細(xì)分，分辨率達0.01角秒，軸向跳動誤差100nm。結(jié)構(gòu)可定制。

規(guī)格指標(biāo)