王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳

產(chǎn)品型號：RBN150

產(chǎn)品應(yīng)用：單軸精密運動臺應(yīng)用于微納加工、測試測量及光纖對準(zhǔn)等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點：

• 非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu)驅(qū)動

• 抗蠕動交叉滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向

• 百納米級定位精度

• 納米級微動步距

• 高動態(tài)性能

• 結(jié)構(gòu)可接受定制

產(chǎn)品圖片

產(chǎn)品用材設(shè)計

單軸精密運動臺采用非接觸式直線直驅(qū)電機驅(qū)動，非常適合要求高精度的需求，其不會與磁鐵發(fā)生不良反應(yīng)，在低速運行時也能保持平穩(wěn)，在高速狀態(tài)系也不會產(chǎn)生振動。直驅(qū)電機具有零間隙、零摩擦和良好的動態(tài)性能等特點。

抗蠕動交叉滾柱直線導(dǎo)軌導(dǎo)向，滾柱是線接觸，比滾珠接觸面積大，工作時比較平穩(wěn)；交叉排列,多方向受力時比較穩(wěn)定；該結(jié)構(gòu)可以把平臺高度降低，結(jié)構(gòu)緊湊，減小阿貝誤差的影響。

非接觸式光柵閉環(huán)反饋，優(yōu)化考慮熱膨脹的設(shè)計，這種緊湊是結(jié)構(gòu)設(shè)計，在有限的空間內(nèi)具有魯棒性和準(zhǔn)確度，獲得重復(fù)定位精度±75nm，納米級微動步距。

Z軸采用低摩擦氣缸配重，有效的提升了垂直方向上的性能。

精密控制

精密運動臺配合業(yè)界上主導(dǎo)的控制器和驅(qū)動器相結(jié)合，可提供優(yōu)異的伺服性能，控制算法，從而提高動態(tài)性能。控制器有誤差補償功能。

定制化設(shè)計

可定制用于真空環(huán)境下的版本。根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、隔振臺、光學(xué)平臺等整套系統(tǒng)方案。

規(guī)格參數(shù)