詳細(xì)介紹
王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳
三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):定制系統(tǒng)
產(chǎn)品應(yīng)用:三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制應(yīng)用于激光加工、3D打印等領(lǐng)域
非接觸式直驅(qū)結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)
滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向
定位精度優(yōu)于1μm
線纜管理
結(jié)構(gòu)可接受定制
產(chǎn)品圖片
產(chǎn)品用材設(shè)計(jì)
三軸精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)精密定位,XY軸采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),精密滑塊滾柱導(dǎo)軌導(dǎo)向及光柵尺閉環(huán)反饋,大理石基座三片式十字疊層結(jié)構(gòu),有效降低XY軸上工作點(diǎn)的高度,降低阿貝誤差對(duì)系統(tǒng)精度的影響,Z軸伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)帶斷電抱閘功能,應(yīng)用于精密3D打印、激光加工等領(lǐng)域。
精密控制
配合業(yè)界上主導(dǎo)的控制器和驅(qū)動(dòng)器相結(jié)合,可提供優(yōu)異的伺服性能、控制算法,從而提高動(dòng)態(tài)性能??刂破饔姓`差補(bǔ)償功能。
定制化設(shè)計(jì)
可定制用于真空環(huán)境下的版本。根據(jù)應(yīng)用可配置大理石基座、隔振臺(tái)、光學(xué)平臺(tái)等整套系統(tǒng)方案。
規(guī)格參數(shù)
軸系 | 測(cè)試項(xiàng)目 | 指標(biāo)要求 | 實(shí)測(cè)指標(biāo) |
X軸 | 行程 | 300mm | 300mm |
定位精度 | ±1μm | ±0.15μm | |
雙向重復(fù)定位精度 | ±0.5μm | ±0.05μm | |
直線度 | ±3μm | ±0.65μm | |
定位抖動(dòng) | 300nm | 31nm | |
工作速度 | 300mm/s | 300mm/s | |
Y軸 | 行程 | 300mm | 300mm |
定位精度 | ±1μm | ±0.15μm | |
雙向重復(fù)定位精度 | ±0.5μm | ±0.1μm | |
直線度 | ±3μm | ±0.45μm | |
定位抖動(dòng) | 300nm | 35nm | |
工作速度 | 300mm/s | 300mm/s | |
Z軸 | 行程 | 150mm | 150mm |
雙向重復(fù)定位精度 | ±5μm | ±1μm | |
速度 | 50mm/s | 50mm/s | |
負(fù)載 | XY軸 | 20Kg | 20Kg |
Z軸 | 15Kg | 15Kg |