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雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制

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更新時(shí)間:2024-07-09 09:06:27瀏覽次數(shù):383

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

行程 170mm*360° 直線軸定位精度 ±0.3μm
直線軸重復(fù)定位精度 ±0.1μm 旋轉(zhuǎn)軸定位精度 ±2arc?sec
旋轉(zhuǎn)軸重復(fù)定位精度 ±1arc?sec    
雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制用于非接觸式輪廓測(cè)量,氣浮直驅(qū)結(jié)構(gòu),大理石作為機(jī)體,精度高,結(jié)構(gòu)緊湊,結(jié)構(gòu)可定制。

詳細(xì)介紹

王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳

雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制用于非接觸式輪廓測(cè)量。

型號(hào):定制

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 應(yīng)用于非接觸式輪廓測(cè)量;

  • 行程170mm*360°;

  • 非接觸式氣浮直驅(qū)結(jié)構(gòu);

  • 結(jié)構(gòu)緊湊,高精度;

  • 跳動(dòng)指標(biāo)精度高;


產(chǎn)品圖片

637990126444320274815.jpg



產(chǎn)品結(jié)構(gòu)描述

雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)定制分別采用氣浮導(dǎo)軌(Z軸)和氣浮軸承(C軸)導(dǎo)向,直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)及光柵尺閉環(huán)反饋,Z軸用低摩擦氣缸配重,有效抵消電機(jī)向上輸出力,應(yīng)用于非接觸式輪廓測(cè)量。

氣浮結(jié)構(gòu)因?yàn)檫\(yùn)動(dòng)元件間沒有機(jī)械接觸,隨著時(shí)間的推移,不會(huì)出現(xiàn)磨損或性能下降,使用壽命幾乎是無限的,氣浮軸承不需要潤(rùn)滑,只需要清潔及干燥的氣體,是用戶應(yīng)用的理想選擇

用濟(jì)南青大理石作為基座,濟(jì)南青大理石因強(qiáng)度大、硬度高、不生銹、耐腐蝕性、耐磨性及穩(wěn)定性好,應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)臺(tái)上質(zhì)量可靠。大理石做模態(tài)分析,結(jié)構(gòu)尺寸,依據(jù)客戶的要求做最終設(shè)計(jì)。

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規(guī)格參數(shù)

軸系

Z

C

行程

170mm

360°

定位精度

±0.3μm

±2arc sec

雙向重復(fù)定位精度

±0.1μm

±1arc sec

全行程直線度

0.75μm

全行程平面度

0.75μm

同步軸向跳動(dòng)

200nm

同步徑向跳動(dòng)

200nm

速度

100mm/s

100rpm

負(fù)載(組裝后)

5Kg





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