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產(chǎn)品特點
單軸氣浮運動臺為非接觸式氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)；高直線度平面度指標；納米級微動步距；精密光柵尺閉環(huán)反饋；優(yōu)化線纜管理系統(tǒng)；密封罩防塵裝置；可搭配各軸使用 。

背景介紹

QF100系列

單軸氣浮運動臺是目前國內(nèi)性能良好的氣浮臺，特殊的防塵處理裝置?？勺鳛閱屋S使用，或根據(jù)應(yīng)用與其它軸組裝成系統(tǒng)。搭配上*的控制系統(tǒng)，制造出性價比高的氣浮位移系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于精密加工，測試測量，印刷、掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。

非接觸式結(jié)構(gòu)

QFL100系列采用非接觸式氣浮軸承、非接觸式直線電機驅(qū)動和非接觸式反饋裝置，確保免維護運行，因為運動元件間沒有機械接觸，隨著時間的推移，QFL100不會出現(xiàn)磨損或性能下降，使用壽命幾乎是無限的，氣浮軸承不需要潤滑，只需要清潔及干燥的氣體，是用戶應(yīng)用的理想選擇。

高精度指標

氣浮導(dǎo)軌基于氣體動靜壓效應(yīng)，實現(xiàn)無摩擦和無振動的平滑移動，與直驅(qū)直線電機，精密光柵尺組成閉環(huán)控制，實現(xiàn)高精度移動定位。與摩擦式導(dǎo)軌相比，氣浮直線臺的直線度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指標得到了很大的提高，同時由于非接觸式，伺服反饋的跟隨誤差有了質(zhì)的飛躍，定位精度和重復(fù)精度得到了顯著提高。

管線優(yōu)化管理

經(jīng)過多年研究，線纜管理對性能有影響，我們精心優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮臺的性能，使用高質(zhì)量的線纜，以確保*操作，減少停機時間。同時使設(shè)備外觀更整潔，創(chuàng)造良好的作業(yè)環(huán)境。

密封裝置

采用*的密封裝置，不影響直線臺的精度性能，在應(yīng)用中防止異物進入氣浮導(dǎo)軌。

定制化

可定制大理石或碳化硅材質(zhì)的氣浮導(dǎo)軌，提升精度性能，行程也可接受定制。

規(guī)格指標