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真空運(yùn)動(dòng)臺(tái)

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更新時(shí)間:2024-07-09 09:06:27瀏覽次數(shù):229

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳
應(yīng)用領(lǐng)域
RBN-VC-L系列是研發(fā)出的一款高精度的雙軸真空運(yùn)動(dòng)臺(tái),具有納米級(jí)微動(dòng)步距,亞微米級(jí)定位精度,適用于高真空10^-7 Torr環(huán)境下應(yīng)用。

詳細(xì)介紹

王欣悅 依巴依-似伍陸陸-捌柒零貳

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

X軸行程380mm,Y軸行程200mm,高真空直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),在低速運(yùn)行時(shí)保持平穩(wěn),在高速狀態(tài)不產(chǎn)生振動(dòng)。

真空交叉滾柱直線導(dǎo)軌導(dǎo)向,滾柱是線接觸,比滾珠接觸面積大,運(yùn)動(dòng)平穩(wěn),交叉排列,多方向受力穩(wěn)定。十字疊層結(jié)構(gòu),使整體結(jié)構(gòu)更緊湊。真空潤(rùn)滑脂涂抹在真空導(dǎo)軌上,不易揮發(fā)。

盡可能的消除盲孔,在盲孔和螺栓處有通孔,保證安裝孔開放式結(jié)構(gòu)。結(jié)構(gòu)件選用航空鋁合金件,清洗加工表面,高低溫?zé)崽幚硐庸?yīng)力,確保使用的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

使用聚四氟乙烯材質(zhì)的墊圈;螺釘中心帶通孔,結(jié)構(gòu)件消除盲孔,方便通風(fēng)排氣;軸側(cè)面無(wú)防塵設(shè)計(jì),方便通風(fēng)排氣;線纜外表為特氟龍材質(zhì),適用真空環(huán)境;提供真空腔外的配套連接法蘭及線纜。


規(guī)格指標(biāo)

軸系

測(cè)試項(xiàng)目

單位

指標(biāo)要求

實(shí)測(cè)指標(biāo)

X

行程

mm

380

380

補(bǔ)償后定位精度

μm

±0.75

±0.15

雙向重復(fù)定位精度

μm

±0.2

±0.1

直線度

μm

±3

±1.45

Yaw

arc sec

±15

±7.45

Pitch

arc sec

±15

±2.9

工作速度

mm/s

100

200

加速度

g

0.1

0.1

微動(dòng)步距

nm

10

10

Y

行程

mm

200

200

補(bǔ)償后定位精度

μm

±0.75

±0.2

雙向重復(fù)定位精度

μm

±0.1

±0.1

直線度

μm

±1.5

±1.2

Yaw

arc sec

±7

±5

Pitch

arc sec

±7

±3

工作速度

mm/s

100

100

加速度

g

0.1

0.1

微動(dòng)步距

nm

10

10

XY

負(fù)載

kg

15

15

 


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